Что такое PFA?
PFA — полностью фторированный сополимер тетрафторэтилена (TFE) и перфторалкоксивинилового эфира. Поскольку он перерабатывается расплавом, его можно лить под давлением и экструдировать в сложные детали — в отличие от обычного PTFE, который спекают.
Почему важна сверхчистота
На фабрике полупроводников загрязнение ионами металлов должно удерживаться на уровне частей на миллиард. Сверхчистый PFA контролирует экстрагируемые ионы металлов на уровне ppb, поэтому он используется для носителей пластин, фитингов подачи химикатов, клапанов, трубок и фильтров в процессах 14 нм и менее 7 нм.
Ключевые свойства
Непрерывная эксплуатация до 260 °C, почти универсальная стойкость к кислотам, основаниям и органическим растворителям, низкий коэффициент трения и превосходная электроизоляция с диэлектрической проницаемостью около 2,1.
Выбор марки
Индекс расплава определяет способ переработки — меньший поток для экструдированных трубок и футеровок, больший для литых фитингов. Полупроводниковые марки добавляют более жёсткий контроль ионов металлов поверх стандартных промышленных марок.